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選擇和使用真空泵過程中的注意事項(xiàng)包括:
1.真空泵工作壓力范圍的選擇:在選擇真空泵的類型時(shí),需要考慮真空室所能達(dá)到的極限壓力和工作壓力。每個(gè)真空泵都有一定的工作壓力范圍。
2.真空泵廠家真空泵尺寸的選擇:選擇真空泵的尺寸就意味著決定了真空泵的抽氣能力。真空泵尺寸的選擇主要基于兩點(diǎn):a)根據(jù)抽真空的真空室所需要的工作壓力和室內(nèi)較大的排氣流量來確定。每個(gè)泵都有其極限壓力和很好抽壓范圍,真空室中的壓力應(yīng)在泵的很好抽壓范圍內(nèi)。b)根據(jù)真空室的大小和抽氣時(shí)間的要求選擇。此外,在其工作壓力下,真空泵應(yīng)能排出真空設(shè)備過程中產(chǎn)生的所有氣體。
3.真空泵的正確組合:由于真空泵有選擇地抽空氣,有時(shí)一臺泵不能滿足抽的要求,需要幾臺泵組合起來互補(bǔ)才能滿足抽的要求。比如鈦升華泵對氫氣有很高的抽速,但不能抽氦氣,而三極濺射離子泵(或偶極非對稱陰極濺射離子泵)對氬氣有一定的抽速。如果將兩種泵結(jié)合起來,真空裝置將獲得更好的真空度。另外,有些真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)抽真空;有的真空泵出口壓力比大氣壓低,都需要組合使用。
4.真空設(shè)備對油污的要求:如果設(shè)備嚴(yán)格無油,應(yīng)選用各種無油泵,如水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選用油泵,增加冷阱、擋板、集油器等一些防油污措施,也能滿足潔凈真空的要求。