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由于干氣介質(zhì)的特殊性,要求真空泵密封保證干氣既不能漏出也不能漏入,就目前使用的脹環(huán)密封形式而言,很難滿足這一要求。在目前的氮?dú)饷芊獯胧┲?,由于氮?dú)獾囊?,氮?dú)鈮毫κ冀K保持在0.02MPa,而真空泵內(nèi)的壓力在-0.08 MPa至0.02 MPa之間波動(dòng),使一部分氮?dú)饴┤氡皿w內(nèi)與介質(zhì)混合,不僅消耗氮?dú)?,而且影響原料質(zhì)量。同時(shí)油箱中的潤(rùn)滑油隨氮?dú)獗晃霘馇?,增加了?rùn)滑油的消耗。泵在運(yùn)行過程中,注油孔需要密封好,給日常維護(hù)帶來不便。
真空泵廣泛用于工業(yè)部門,如燈泡制造、電子管、食品包裝和半導(dǎo)體器件制造。真空蒸餾、真空浸漬、離子滲氮、真空干燥、真空滲碳、真空淬火、真空鑄造等。在真空條件下,由于氣體分子數(shù)量少,可以避免氣體的有害影響。比如真空熱處理可以避免氧化和氣體滲入金相組織,從而提高零件質(zhì)量;在電子器件中保持高真空可以避免電子運(yùn)動(dòng)的影響;真空包裝保持高真空可以提高食品的保質(zhì)期。在現(xiàn)代好的科技中,真空技術(shù)是不可或缺的手段,如高能加速器、受控?zé)岷朔磻?yīng)、宇宙模擬等項(xiàng)目都需要高真空或很高真空技術(shù)。
真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空單調(diào)、真空脫氣(鋼水處理)等真空設(shè)備。對(duì)工作壓力高、排氣量大的低真空泵組有吸引力。根據(jù)被抽氣體的清潔度、濕度或其他特殊要求,低真空抽氣裝置的使用還應(yīng)配備必要的集塵器、單調(diào)罐和其他部件。