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真空泵可被定義為操作機器、以物理、化學或物理化學方式將泵送容器抽成真空的裝置或配置。隨著真空應用的發(fā)展，真空泵的種類也越來越多，其抽氣速度從幾十分之一秒提高到幾十萬、幾百萬升每秒。極限壓力(極限真空)的范圍從粗真空到10 -1 2 Pa以上的很高真空。由于真空應用部分涉及的入射壓力范圍很廣，任何一種實例真空泵都可以在所有的入射壓力范圍內(nèi)使用，只需要根據(jù)不同的入射壓力范圍和不同的入射要求使用不同的真空泵實例。為了使用的方便和各種真空工藝的需要，各種真空泵根據(jù)其特點和要求偶爾組合，它們以單元的形式應用，即真空單元。
制造商的低真空設(shè)備，如真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空單調(diào)、真空脫氣等。要求有工作壓力高、排氣量大的低真空泵機組。這些低真空泵機組的主泵一般是往復式真空泵、油封式真空泵、水環(huán)泵、羅茨泵等。公司使用的低真空泵組還需要根據(jù)被抽氣體的潔凈度、濕度或其他特殊要求，配備必要的除塵器、單調(diào)罐等部件。為防止真空泵廠家真空泵機組中真空系統(tǒng)的污染，實際上應注意選擇一臺帶氣鎮(zhèn)裝置的油封機械泵；就真空泵裝油分離器及其離心分離器或油水分離器而言，實際上混有水的機械泵油會直接懸浮起來進行處理，處理后的油實際上會流入泵內(nèi)使用。
