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隨著萊寶真空泵泵溫的升高,泵油的粘度會大大降低,泵油的飽和蒸汽壓會升高,從而使泵的極限壓力升高,泵送功率下降。簡單老化橡膠部件;使熱膨脹工作可靠。泵溫高的原因可以是泵的環(huán)境溫度過高,入口空氣溫度過高,入口空氣冷卻設(shè)備失效,泵長時間連續(xù)工作時入口壓力過高;水冷泵冷卻水不足,循環(huán)水規(guī)劃效果不好;溫度控制閥故障等。
選擇真空泵時,應(yīng)注意以下事項:
1.真空泵的工作壓力應(yīng)滿足不好真空和真空設(shè)備工作壓力的要求。比如真空鍍膜,要求真空度在110-5mmHg,所選真空泵的真空度至少要在510-6mmHg。通常情況下,泵的真空度比真空設(shè)備高半個到一個數(shù)量級。
2.正確選擇真空泵的工作點。每個泵都有一定的工作壓力范圍,如擴散泵為10-3~10-7mmHg。在如此寬的壓力范圍內(nèi),泵的抽速隨壓力而變化,其穩(wěn)定工作壓力范圍為510-4~510-6mmHg。所以泵的工作點要選在這個范圍內(nèi),不能長時間在10-8mmHg下工作。再比如鈦升華泵可以工作在10-2mmHg,但其工作壓力要小于110-5mmHg。
3.在其工作壓力下,真空泵應(yīng)能排出真空設(shè)備過程中產(chǎn)生的所有氣體。
4.真空泵的正確組合。由于真空泵的選擇性抽氣,有時一臺泵不能滿足抽氣要求,需要幾臺泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。比如鈦升華泵對氫氣有很高的抽速,但不能抽氦氣,而三極濺射離子泵(或兩極不對稱陰極濺射離子泵)對氬氣有一定的抽速。如果將兩種泵組合起來,真空裝置將獲得更好的真空度。