不影響質量和安全的前提下改善干式真空泵流程效率

2019-10-20

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干式真空泵使工作容積中無油，因此帶來了不少益處。首先，它增強了泵的可靠性。干式真空泵不像油密封泵那樣受到水蒸氣或者塵粒的影響，因此它們更耐用，所需的維護工作更少。減少用油量還意味著減少了認真處理油而花費的成本。使用干式真空泵還使可能的污染減到小程度，這種污染既可能出現(xiàn)在油里——影響了泵的性能，也可能出現(xiàn)在某些極端的情況。

干式真空泵已經(jīng)在半導體生產(chǎn)行業(yè)中成功地運用了多年，并且在多種行業(yè)里變得越來越普遍。干式泵已經(jīng)做好更加充分的準備來迎接來自于越來越多的工業(yè)應用領域的挑戰(zhàn)，傳統(tǒng)的油密封技術曾經(jīng)在這些應用領域中占了主導地位。

它們的應用日益增加的原因很清楚，因為它們可靠、耐磨、易于維護，給結果帶來重大的好處。例如在惡劣的環(huán)境中所用的一臺油密封真空泵每年的維護費用大約是一臺新泵成本的40％。

干式泵使正常工作時間更長，并且由于它們具有可重復性，所以使生產(chǎn)的產(chǎn)量更高，節(jié)約了成本。該技術不僅安全，而且它的設計使其即使在頗為苛刻的工作環(huán)境中也能夠無故障的工作。

重慶干式真空泵

通過真空室所需要建立的極限壓力確定真空泵系統(tǒng)主泵的種類，通常主泵極限壓力的選擇要比真空泵室的極限壓力低1半到1個數(shù)量級。通過真空室進行工藝成產(chǎn)時所須要的工作壓力來選真空泵系統(tǒng)主泵，應該正確地選擇主泵的靜態(tài)工作點，在它的工作壓力界限，要能排除真空泵室內(nèi)工藝過程間所造成的全部氣體量。所以，真空泵室內(nèi)的工作壓力一定要在主泵的較佳抽速壓力范圍以內(nèi)、

根據(jù)真空室的容積大小和要求的抽真空時間來選真空泵系統(tǒng)主泵，真空室容積的大小對真空系統(tǒng)所要抽到極限真空度的時間長度有所影響。當抽氣的時間段要求必須時，假如真空室容積越大，那么主泵抽速也越大。

正確地組成真空泵系統(tǒng)，由于干式真空泵有選擇性地抽真空，因此有時采用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾類泵組成起來，相互之間補充才能符合抽氣要求。若真空系統(tǒng)嚴格要求無油時，則應當選各種無油泵作真空泵系統(tǒng)主泵，要是要求不嚴格，那么可以選擇油泵，之后再加一些防油污染的策略，可以加擋油阱、障板、冷阱等，也可以達到清潔真空的標準。

選擇真空泵時，應當知道被抽氣體成份，針對被抽氣體成份選擇相對的真空系統(tǒng)主泵，如果氣體中含有腐蝕性氣體、顆?；覊m等，則應當考慮到選取干式真空泵、耐腐蝕真空泵等?；蛟诒玫倪M氣口管道上安裝輔助設備。根據(jù)全套真空泵系統(tǒng)的一次投資和日常維護費等經(jīng)濟指標選取真空泵系統(tǒng)主泵。