干式真空泵的應(yīng)用范圍及高溫故障處理

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干式真空泵的應(yīng)用范圍及高溫故障處理

2021-11-02

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　　干式真空泵在許多使用場(chǎng)合達(dá)到了理想的運(yùn)用作用，作業(yè)容積中無(wú)油，更加經(jīng)用，可靠。

　　1、用于低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

　　2、干式真空泵用于半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

　　3、除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不期望微?；烊氡糜椭校谕⒘Ｅ懦霰猛?，則用必定型式的干式真空泵能夠滿足要求；

　　4、干式真空泵適用于化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、枯燥、脫泡、包裝等，防止了有機(jī)溶劑造成污染；

　　5、用做一般無(wú)油清潔真空體系的前級(jí)泵，以防止油污染。

　　干式真空泵在使用中維護(hù)少，更加省時(shí)省力，一起也減少了污染的危害。

干式真空泵廠家.jpg

　　干式真空泵溫度高一直是困擾用戶的大問(wèn)題，處理這個(gè)問(wèn)題首先要了解導(dǎo)致這種問(wèn)題出現(xiàn)的原因是什么，進(jìn)行總結(jié)然后做出技術(shù)處理。

　　一、原因

　　①電扇轉(zhuǎn)速低，風(fēng)壓，風(fēng)量小。電機(jī)功率大，作業(yè)電流大，發(fā)熱量大

　　②電扇葉片數(shù)較少，產(chǎn)生的風(fēng)量小。

　?、壅婵毡秒姍C(jī)地址母線電壓380V，因?yàn)殡娎|壓降及負(fù)荷分配不均，電機(jī)實(shí)踐所加電壓只需365V，電壓偏低造成工作電流大。

　　④電動(dòng)機(jī)附有塵土、油污，降低了散熱才干。

　　二、處理方法

　　電機(jī)功率、轉(zhuǎn)速是和真空泵相匹配的，不能更改。電扇裝置于電機(jī)主軸上，電機(jī)轉(zhuǎn)速?zèng)Q議了電扇轉(zhuǎn)速，也不可更換。增加電扇葉片數(shù)量雖能起到必定作用，但葉片數(shù)量增加后，動(dòng)平衡不容易找，如找正欠好，會(huì)引起電機(jī)振動(dòng)增加。

　　將原電扇罩加長(zhǎng)40cm，在里面加裝一個(gè)與電扇罩同直徑軸流風(fēng)機(jī)，軸流風(fēng)機(jī)電機(jī)功率850W，轉(zhuǎn)速1489r/min，電壓380V。原電扇繼續(xù)保留。軸流風(fēng)機(jī)服裝學(xué)校另設(shè)一路電源操控，軸流風(fēng)機(jī)與主電機(jī)不設(shè)連鎖。真空泵發(fā)動(dòng)后及時(shí)發(fā)動(dòng)軸流風(fēng)機(jī)工作，真空泵停運(yùn)后30min停運(yùn)軸流風(fēng)機(jī)，以使主電機(jī)得到充分冷卻；定時(shí)根除電機(jī)上塵土，堅(jiān)持電機(jī)散熱片清潔，增加其散熱才干；將干式真空泵地址母線電壓調(diào)整為400V。