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高頻放電是兩個(gè)電極之間存在高頻交變電場時(shí)產(chǎn)生的放電形式。當(dāng)交流電壓施加在愛德華干式真空泵的放電管兩端時(shí)，氣體中的電子和正離子會在交流電場的作用下產(chǎn)生額外的共振。因?yàn)檎x子的質(zhì)量遠(yuǎn)大于電子的質(zhì)量，所以共振振幅很小。當(dāng)頻率較低，諧波振動的振幅遠(yuǎn)大于兩極距離時(shí)，電子在每個(gè)半周期內(nèi)經(jīng)歷崩潰、放電、消光的全過程，此時(shí)的放電情況與DC相同。
當(dāng)頻率較高時(shí)，諧波振動的振幅遠(yuǎn)小于兩極之間的距離，由于電子不斷地來回運(yùn)動，電子的電離能力將大大增強(qiáng)。因?yàn)殡娮庸舱竦姆群苄。M(jìn)入電極的電子數(shù)量會大大減少。這樣，確保氣體自持放電的電子將不再由電極產(chǎn)生的二次電子提供，而是由電子來回移動時(shí)電離產(chǎn)生的電子提供。此時(shí)，雖然有少量正離子、光子轟擊電極產(chǎn)生二次電子，但由于兩個(gè)電極極性的不斷變化，二次電子的振動方向有時(shí)與進(jìn)入電極的電子流方向相同，有時(shí)相反。
因?yàn)檫@種高頻放電只要有高頻電場就可以形成，不一定需要電極，所以一般也叫無極放電。無極放電不僅可以在交變電場中形成，也可以在交變磁場中形成。由于交變磁場會產(chǎn)生渦動電場，氣體中殘余電離產(chǎn)生的電子會在渦動電場的作用下繞磁力線加速，從而產(chǎn)生大量電離。
隨著工業(yè)技術(shù)和密封技術(shù)的發(fā)展，真空泵被廣泛應(yīng)用于許多行業(yè)，如電力、化工、石油等。這就要求泵密封件具有更高的密封性和可靠性。泵的密封對整個(gè)設(shè)備的運(yùn)行起著重要的作用，泵密封系統(tǒng)的泄漏會嚴(yán)重影響設(shè)備的正常運(yùn)行。
