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概述和原理:
羅茨真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式容積真空泵。二個三葉型轉(zhuǎn)子與泵腔保持一定的間隙,通過一對同步反向旋轉(zhuǎn)高精度齒輪使二個轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)時互相不接觸并保持一定間隙。采用三葉轉(zhuǎn)子羅茨真空泵比傳統(tǒng)二葉8字型轉(zhuǎn)子羅茨真空泵的抽氣效率、允許壓差、溫升、振動、噪聲等主要性能指標都具有明顯的技術(shù)優(yōu)勢。
主要特點:
轉(zhuǎn)速高、容積效率高、溫升低、振動小。
結(jié)構(gòu)簡單、可靠性好,操作、維護方便。
可采用風冷和水冷方式,滿足不同工況要求。
轉(zhuǎn)子被鎖緊,無軸向串動現(xiàn)象、故障率更低。
所有平面靜密封采用O型圈密封,可以反復拆裝。
與傳統(tǒng)二葉羅茨真空泵比較,抽氣性能優(yōu)勢十分明顯。
采用高精度傳動齒輪和精密滾動軸承,噪聲低、運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。
主軸采用多彈簧平衡式機械密封,確保泵腔無油和泵的長期無泄漏。
端蓋密封可采用機械密封、骨架密封、活塞環(huán)迷宮密封等多種結(jié)構(gòu)型式。
可與油封機械泵、往復泵、液環(huán)泵、無油干式泵等前級泵配套,滿足各類工藝要求。
應用范圍:
羅茨真空泵的優(yōu)點是在較低入口壓力時仍具有較大抽氣速率,但普通羅茨真空泵一般情況下是不能單獨使用,必須與前級真空泵配套使用。當前級真空泵將系統(tǒng)內(nèi)的壓力抽到羅茨真空泵允許啟動壓力后,才可啟動羅茨真空泵。根據(jù)不同的工作壓力和工藝條件,羅茨真空泵的前級真空泵可采用油封式機械真空泵、液環(huán)式真空泵、無油螺干式真空泵等。配置不同類別的前級真空泵后羅茨真空泵各項性能指標有所不同。
羅茨真空泵主要應用于需要大抽速和粗、中真空(103-102Pa)的任何真空系統(tǒng)中,例如:真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗、微電子及集成電路、燈管及燈泡制造、激光器制造、真空包裝、集中抽氣糸統(tǒng)、各類化工處理、真空脫汽、真空脫水、真空冷凍干燥、真空蒸餾。