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愛德華IH干泵

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產(chǎn)品屬性

  • 所屬分類：干式螺桿真空泵
  • 產(chǎn)品編號(hào)：1572675071
  • 瀏覽次數(shù)：0
  • 發(fā)布日期：2019-12-10
  • 產(chǎn)品概述
  • PDF下載
  • 技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品介紹：iH系列干式泵符合國(guó)際公認(rèn)的半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SEMIS2(國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料）、ETL(能源技術(shù)實(shí)驗(yàn)室)，符合UL標(biāo)準(zhǔn)3101-1和CE標(biāo)準(zhǔn)(歐洲共同體標(biāo)準(zhǔn))現(xiàn)場(chǎng)實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)證明 Edwards先進(jìn)的半導(dǎo)體真空泵達(dá)到高運(yùn)行標(biāo)準(zhǔn)。通過延長(zhǎng)使用壽命、改進(jìn)持續(xù)運(yùn)行時(shí)間、提高生產(chǎn)率、使其擁有了高可靠性能。同時(shí)又具有占地面積小，低擁有成本的優(yōu)點(diǎn)。

iH系列為苛刻的工藝提供極高可靠性，例如存在顆粒、可凝性和腐蝕性副產(chǎn)品的PECVD和LPCVD工藝。iH干式泵的大抽速范圍為80至1800立方米/小時(shí)。iH1800干式泵是為高排氣量應(yīng)用特別設(shè)計(jì)的。

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