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產(chǎn)品名稱:離子泵
產(chǎn)品介紹:離子泵是一種常用的超高真空獲得設(shè)備,具有如下獨(dú)特優(yōu)勢(shì)耐輻射、耐高溫、清潔無(wú)污染。
產(chǎn)品特點(diǎn):運(yùn)行時(shí)無(wú)振動(dòng);使用成本低;維護(hù)要求極低;顯示真空度;耐輻射;使用壽命長(zhǎng);耐高溫烘烤;氣體捕獲;清潔無(wú)污染。
工作原理:
一步:創(chuàng)造強(qiáng)磁場(chǎng)區(qū)域,永磁鐵置于泵體真空腔之外,產(chǎn)生強(qiáng)磁場(chǎng),用來(lái)控制和引導(dǎo)電子在陽(yáng)極筒內(nèi)環(huán)形運(yùn)動(dòng)。
二步:產(chǎn)生電子云,泵體真空預(yù)抽后,施加高電壓,電子在陽(yáng)極筒產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)電子云,并被強(qiáng)磁場(chǎng)所約束。
三步:離化氣體分子,當(dāng)氣體分子進(jìn)入陽(yáng)極筒単元,被電子轟擊,離化為正離子。正離子經(jīng)高壓電場(chǎng)加速后高速飛出陽(yáng)極筒飛向陰極板
四步:氣體離子吸附抽除,當(dāng)氣體正離子到達(dá)陰極板,高速動(dòng)能開生濺射作用,陰極材料被轟擊出飛向陽(yáng)極簡(jiǎn),同時(shí)氣體離子通過下述兩種吸附作用之一被抽除