真空泵在使用時有哪些要求？

2023-09-15

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　　在其工作壓力下，真空泵應(yīng)能夠排出真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的所有氣體。有時候一個泵不能滿足抽氣要求，需要幾個泵相互補充才能滿足抽氣要求。比如鈦升華泵對氫氣的抽速很高。

　　1、真空泵在工作過程中產(chǎn)生的振動是否會影響工藝和環(huán)境。如果工藝過程不允許，應(yīng)選用無振動泵。

　　2、了解被抽出的氣體成分，氣體中是否含有凝結(jié)蒸汽，是否有顆?；覊m，是否有腐蝕性等。在選擇真空泵時，我們需要知道氣體成分，并為被抽出的氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸汽、顆粒和腐蝕性氣體，應(yīng)考慮在泵的進(jìn)氣口管道上安裝冷凝器、除塵器等輔助設(shè)備。

　　3、在其工作壓力下，真空泵應(yīng)能夠排出真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的所有氣體。

　　4、真空泵的正確組合。由于真空泵有選擇性抽氣，有時一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵相互補充才能滿足抽氣要求。比如鈦升華泵對氫的抽速很高，但是不能抽氦，而三極濺射離子泵(或者二極非對稱陰極濺射離子泵)對氬的抽速會使真空裝置得到更好的真空度。此外，有些真空泵在大氣壓下無法工作，需要預(yù)真空;有些真空泵出口壓力低于大氣壓，需要前級泵，所以需要組合泵使用。

　　5、真空設(shè)備對油污染的要求。如果設(shè)備對無油有嚴(yán)格的要求，應(yīng)選擇各種無油泵，如水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，比如加冷阱、擋板、擋油阱等。，這也可以滿足清潔真空的要求。