怎樣選擇合適的真空泵

2023-09-08

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　　真空泵的使用效率很高，不同的真空機(jī)具有不同的功能范圍和強(qiáng)度。當(dāng)我們選擇真空泵時，我們應(yīng)該知道我們應(yīng)該做什么，適合什么樣的真空泵。只有選擇合適的設(shè)備，我們才能充分發(fā)揮我們的效率。

　　1、真空泵的工作壓力應(yīng)滿足真空設(shè)備的真空和工作壓力要求。例如：真空涂層要求1×真空度為10-5mmHg，所選真空泵的真空度至少為5mmHg?！?0-6mmHg。泵的真空度一般比真空設(shè)備的真空度高一半到一個數(shù)量級。

　　2、正確選擇真空泵的工作點。每個泵都有工作壓力范圍，例如：擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg，在如此寬的壓力范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓力而變化，其穩(wěn)定工作壓力范圍為5?！?0-4~5×10-6mmHg。因此，泵的工作點應(yīng)在此范圍內(nèi)選擇，而不能在10-8mmHg下長時間工作。另外，鈦升華泵可在10-2mmHg下工作，但其工作壓力應(yīng)小于1×是10-5mmHg。

　　3、在其工作壓力下，真空泵應(yīng)能夠排出真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的所有氣體。

　　4、真空泵的正確組合。由于真空泵有選擇性抽氣，有時一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵相互補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。比如鈦升華泵對氫的抽速很高，但是不能抽氦，而三極濺射離子泵(或者二極非對稱陰極濺射離子泵)對氬的抽速會使真空裝置得到更好的真空度。此外，有些真空泵在大氣壓下無法工作，需要預(yù)真空;有些真空泵出口壓力低于大氣壓，需要前級泵，所以需要組合泵使用。

　　5、真空設(shè)備對油污染的要求。如果設(shè)備對無油有嚴(yán)格的要求，應(yīng)選擇各種無油泵，如水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，比如加冷阱、擋板、擋油阱等。，這也可以滿足清潔真空的要求。

　　6、了解被抽出的氣體成分，氣體中是否含有凝結(jié)蒸汽，是否有顆粒灰塵，是否有腐蝕性等。在選擇真空泵時，我們需要知道氣體成分，并為被抽出的氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸汽、顆粒和腐蝕性氣體，應(yīng)考慮在泵的進(jìn)氣口管道上安裝冷凝器、除塵器等輔助設(shè)備。

　　7、真空泵排出的油蒸氣對環(huán)境的影響如何?若環(huán)境不允許受到污染，可選擇無油真空泵，或?qū)⒂驼魵馀诺绞彝狻?/p>

　　8、真空泵在工作過程中產(chǎn)生的振動是否會影響工藝過程和環(huán)境。如果工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動泵或采取防振措施。

　　9、真空泵的價格、運行和維護(hù)費用。