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由于干氣介質(zhì)的特殊性，要求真空泵密封保證干氣既不能漏出也不能漏入，就目前使用的脹環(huán)密封形式而言，很難滿足這一要求。在目前的氮氣密封措施中，由于氮氣的引入，氮氣壓力始終保持在0.02MPa，而真空泵內(nèi)的壓力在-0.08 MPa至0.02 MPa之間波動，使一部分氮氣漏入泵體內(nèi)與介質(zhì)混合，不僅消耗氮氣，而且影響原料質(zhì)量。同時油箱中的潤滑油隨氮氣被吸入氣腔，增加了潤滑油的消耗。泵在運行過程中，注油孔需要密封好，給日常維護帶來不便。
油真空泵由油密封、潤滑和冷卻。這種類型的油真空泵可以接受一點濕氣，而無油真空泵由于葉片多為石墨材質(zhì)，遇到濕氣容易膨脹損壞。不過無油真空泵使用起來比較干凈，可以用在一些環(huán)保要求高的地方。
與相同抽速的無油旋片泵相比，油式真空泵的真空度更高。在油式旋片油式真空泵的連續(xù)運行中，由于機械密封和潤滑油的雙層密封，油式真空泵在抽、壓、排氣的一系列動作中更加穩(wěn)定，減少了氣體泄漏的幾率。
雖然無油真空泵在一定程度上略遜于油基真空泵，但由于不需要油潤滑，在一些油敏感行業(yè)更容易被客戶采用。無油運行可以限制油質(zhì)對產(chǎn)品的影響，減少油質(zhì)與產(chǎn)品發(fā)生化學(xué)反應(yīng)造成的油質(zhì)污染，如制藥行業(yè)、印刷工藝等。
