真空泵是產(chǎn)量大、用途廣的產(chǎn)品，但它確實(shí)是直接影響真空設(shè)備性能和質(zhì)量的必不可少的基礎(chǔ)產(chǎn)品。真空泵的范圍從高/超真空到粗/低真空。產(chǎn)品可分為14類(lèi)：

　　高/超真空——低溫泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴(kuò)散泵。

　　中真空——干式泵、兩級(jí)旋葉片泵、羅茨泵、油增壓泵、蒸汽噴射泵。

　　粗/低真空——單級(jí)旋葉片泵、滑閥泵、液環(huán)泵、往復(fù)真空泵。

　　真空泵市場(chǎng)根據(jù)用戶(hù)需求動(dòng)態(tài)變化。市場(chǎng)增長(zhǎng)的主要驅(qū)動(dòng)因素是半導(dǎo)體工業(yè)的快速發(fā)展以及干泵和分子泵的日益應(yīng)用。

　　目前，全球真空泵市場(chǎng)年銷(xiāo)售額約為20億美元，年增長(zhǎng)率約為7%。

　　國(guó)內(nèi)真空泵廠家很多。所有真空泵的年銷(xiāo)售額約為1.5億元，僅相當(dāng)于金內(nèi)真空泵在美國(guó)的年銷(xiāo)售額。通過(guò)分析全球真空泵市場(chǎng)，我們可以看到各種真空泵的市場(chǎng)和應(yīng)用領(lǐng)域在不斷變化和發(fā)展。中國(guó)真空泵制造業(yè)歷史悠久，基礎(chǔ)雄厚。國(guó)產(chǎn)真空泵已經(jīng)在各個(gè)領(lǐng)域得到應(yīng)用和驗(yàn)證。有些泵還出口國(guó)外，得到了國(guó)外用戶(hù)的認(rèn)可和好評(píng)。應(yīng)該說(shuō)，秦

　　液環(huán)泵雖然是一種粗糙的真空泵，但在我國(guó)石油、化工、電力、紡織、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域仍有很大的市場(chǎng)。

　　在國(guó)外，液環(huán)泵的銷(xiāo)量占真空泵市場(chǎng)總量的14%，僅次于干式泵。因此，納什、賽美和金內(nèi)正在中國(guó)投資或建立銷(xiāo)售網(wǎng)絡(luò)，以擴(kuò)大他們?cè)谥袊?guó)的市場(chǎng)份額。由于液環(huán)泵以鑄造為主，加工要求低，是勞動(dòng)密集型產(chǎn)品。因此，國(guó)產(chǎn)液環(huán)泵在價(jià)格上具有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。關(guān)鍵是改進(jìn)設(shè)計(jì)，降低體積、重量、效率和能耗。

　　2.滑閥泵

　　由于滑閥泵更耐用可靠，國(guó)內(nèi)外各種真空爐、涂布機(jī)、干燥和浸漬設(shè)備都使用滑閥泵作為前級(jí)泵，但滑閥泵鑄造重，加工工作量大，所以國(guó)外真空工廠正在尋找合作伙伴。為了使國(guó)產(chǎn)滑閥進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng)，需要進(jìn)一步降低泵的振動(dòng)和噪聲，防止噴油和漏油，提高滑閥泵的長(zhǎng)期運(yùn)行可靠性。

　　3.直聯(lián)旋轉(zhuǎn)葉片泵

　　隨著真空技術(shù)在各種應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大，對(duì)直聯(lián)旋片泵的需求也越來(lái)越大。由于這些泵數(shù)量大，加工裝配工作量大，價(jià)格低，一些國(guó)外真空制造商在中國(guó)設(shè)立了專(zhuān)門(mén)的工廠。直聯(lián)的國(guó)產(chǎn)中小型旋葉泵已通過(guò)技術(shù)，價(jià)格遠(yuǎn)低于國(guó)外泵。所以國(guó)產(chǎn)泵還是有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)的。關(guān)鍵是解決軸封油的泄漏問(wèn)題以及旋轉(zhuǎn)葉片材料和真空泵油的性能和質(zhì)量問(wèn)題。確保直聯(lián)泵在高速、高溫下的穩(wěn)定性和可靠性，進(jìn)一步提高國(guó)產(chǎn)直聯(lián)旋片泵去除水蒸氣的能力。

　　4.羅茨泵

　　從羅茨泵在國(guó)外的生產(chǎn)情況來(lái)看，國(guó)外的幾家大公司，如萊博爾德、巴爾澤斯、阿爾卡特、愛(ài)德華茲和ULVAC，他們?cè)诹_茨泵的銷(xiāo)售額占羅茨泵，全球銷(xiāo)售額的5%以上，而這五家公司只占20%。羅茨泵的產(chǎn)量不大，但羅茨泵的價(jià)格比中國(guó)高得多。目前，國(guó)內(nèi)外幾乎所有的大、小高真空和中真空系統(tǒng)都配備了羅茨泵，以縮短抽氣時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。因此，國(guó)內(nèi)羅茨泵必須在占領(lǐng)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的基礎(chǔ)上進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng)。進(jìn)一步降低國(guó)產(chǎn)羅茨泵，的振動(dòng)噪音，徹底解決軸封漏油問(wèn)題，提高泵的外觀質(zhì)量，提高泵的穩(wěn)定性和清潔度。此外，還需要考慮一些國(guó)家和地區(qū)的工頻為60Hz，在提速的情況下必須保證羅茨泵的長(zhǎng)期運(yùn)行可靠性。

　　目前，國(guó)內(nèi)風(fēng)冷直排大氣羅茨泵發(fā)展迅速，技術(shù)成熟。

　　由于泵在排氣口下方裝有氣體冷卻器，一部分冷卻后的氣體通過(guò)管道回到泵室對(duì)轉(zhuǎn)子進(jìn)行冷卻，使壓縮處于熱平衡狀態(tài)，泵可以直接排放到大氣中。為了滿(mǎn)足不同真空極限的要求，泵可以串聯(lián)使用。通常，在前面增加一個(gè)風(fēng)冷直接排氣大氣羅茨泵，終獲得的真空比以前的泵高一個(gè)數(shù)量級(jí)。這種類(lèi)型的泵實(shí)際上是干式泵，因?yàn)楸檬抑袥](méi)有工作介質(zhì)。目前，風(fēng)冷在線(xiàn)大氣羅茨泵及其機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、渦輪轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡、航天空間模擬等設(shè)備上進(jìn)行了長(zhǎng)期運(yùn)行測(cè)試，應(yīng)予以推廣應(yīng)用。在國(guó)內(nèi)申請(qǐng)。

　　5.分子泵

　　在國(guó)外許多半導(dǎo)體領(lǐng)域，特別是濺射、刻蝕和液晶顯示器領(lǐng)域，分子泵被用來(lái)代替低溫泵。主泵采用復(fù)合分子泵泵和牽引泵。

　　因?yàn)樗魵獾姆肿颖弥挥型睆降蜏乇贸闅馑俣鹊乃姆种?，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽氣速度，在分子泵，的入口側(cè)安裝了一個(gè)-130~-150的低溫冷板，稱(chēng)為低溫分子泵。水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體被分子泵抽走。這種低溫分子泵適用于真空鍍膜設(shè)備，不僅提高了生產(chǎn)效率，而且提高了薄膜質(zhì)量。隨著中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜工業(yè)和科研的快速發(fā)展，分子泵應(yīng)該成為中國(guó)真空泵制造業(yè)的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大打造一個(gè)完整的系列，開(kāi)發(fā)各種復(fù)合分子泵，牽引水泵和低溫分子泵，滿(mǎn)足不同場(chǎng)合的需求。

　　6.干式泵

　　海外干泵市場(chǎng)持續(xù)增長(zhǎng)，主要?jiǎng)恿?lái)自半導(dǎo)體行業(yè)、化工行業(yè)、薄膜行業(yè)的快速發(fā)展。在日本，干式真空泵已經(jīng)取代了半導(dǎo)體行業(yè)的油封機(jī)械泵。超過(guò)45%的歐美半導(dǎo)體行業(yè)用干式真空泵取代了油封機(jī)械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿(mǎn)足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪形真空泵、螺旋真空泵、渦旋真空泵、往復(fù)活塞式真空泵和渦輪無(wú)油真空泵。極限壓力為10帕至10-2帕，07 D6為20立方米/小時(shí)至500立方米/小時(shí).

　　據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前我國(guó)干式泵的應(yīng)用還不到1%。半導(dǎo)體行業(yè)的國(guó)產(chǎn)干泵都是從國(guó)外進(jìn)口的，很貴。因此，中國(guó)應(yīng)大力研發(fā)干式泵，使其成為中國(guó)真空行業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。