WAU/WSU/WHU羅茨真空泵

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產(chǎn)品屬性

所屬分類(lèi)：羅茨真空泵
產(chǎn)品編號(hào)：1572572660
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發(fā)布日期：2019-12-14

產(chǎn)品概述
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技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱(chēng)：萊寶羅茨真空泵

產(chǎn)品介紹：羅茨真空泵是一款技術(shù)成熟的真空獲得設(shè)備，廣泛應(yīng)用于各類(lèi)真空應(yīng)用。與前級(jí)泵配合組成羅茨機(jī)組。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

-降低極限壓強(qiáng)

按一般經(jīng)驗(yàn)，配置羅茨真空泵后系統(tǒng)極限壓強(qiáng)降低至原來(lái)的1/10。兩級(jí)羅茨和相應(yīng)前級(jí)泵組合其極限壓強(qiáng)可達(dá)到10-5mbar(0.75 x 10-5Torr)量級(jí)，某些情況下無(wú)需再另配高真空泵(渦輪分子泵，或擴(kuò)散泵)。

-增大抽速

由于轉(zhuǎn)子是非接觸轉(zhuǎn)動(dòng)，羅茨真空泵可高速運(yùn)轉(zhuǎn)，幾何尺寸小的泵也能達(dá)到非常高的抽速，在中低真空范圍單泵超過(guò)1500m3/h (589 cfm)的抽速，只有羅茨真空泵才能達(dá)到。

選擇合適的前級(jí)泵和羅茨泵組合，即便是小抽速的前級(jí)泵也可實(shí)現(xiàn)抽除大量氣體。與相同抽速的單一前級(jí)泵相比，能耗大大降低。

在真空技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)羅茨真空泵的應(yīng)用還得到進(jìn)一步的專(zhuān)業(yè)化發(fā)展：

- 集成旁通管(壓力均衡管線)的設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了在高壓強(qiáng)段對(duì)羅茨泵抽速的利用，這樣可以縮短抽空時(shí)間，特別適用于周期性的工藝(見(jiàn)“有/無(wú)旁通的抽速曲線對(duì)比圖)

- 高純氣體或危險(xiǎn)氣體對(duì)系統(tǒng)的氣密性要求嚴(yán)格。配置罐裝電機(jī)的WS羅茨泵系列或全密封電機(jī)的WH羅茨泵系列都是完全密封的結(jié)構(gòu)，系統(tǒng)沒(méi)有動(dòng)密封，避免了漏氣和漏油的問(wèn)題，無(wú)故障運(yùn)行時(shí)間超過(guò)20,000小時(shí)。

- 轉(zhuǎn)子準(zhǔn)確的動(dòng)平衡，結(jié)合強(qiáng)制潤(rùn)滑的軸承和齒輪，允許羅茨泵高轉(zhuǎn)速運(yùn)行，可以通過(guò)配置變頻器改變轉(zhuǎn)速。在工藝過(guò)程中提高轉(zhuǎn)速實(shí)現(xiàn)高抽速，在工藝停止或工藝間隔期可降低轉(zhuǎn)速，這種操作可降低能耗和延長(zhǎng)羅茨泵的使用壽命，而可靠性不受影響。

- 垂直氣流轉(zhuǎn)為水平氣流的操作可在泵的安裝地輕松執(zhí)行，非常適合系統(tǒng)操作條件的不同要求。

羅茨泵還有個(gè)特點(diǎn)即羅茨泵的泵腔內(nèi)無(wú)油，該特點(diǎn)為羅茨泵帶來(lái)了如下優(yōu)勢(shì)：

- 抽送介質(zhì)不受潤(rùn)滑油或密封劑污染；不需復(fù)雜輔助配件(排氣過(guò)濾器、分離器等)；

- 齒輪箱內(nèi)潤(rùn)滑油不受被抽介質(zhì)影響，不會(huì)因此縮短使用壽命；

- 防止前級(jí)泵向所連真空室的油氣返流羅茨真空泵的上述特點(diǎn)使其非常適合粗真空和中真空范圍的各種應(yīng)用。

半導(dǎo)體工業(yè)(RUVAC WH 和WS)

羅茨泵廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)，以刻蝕工藝為例（與前級(jí)干泵配合使用）：

系統(tǒng)抽速在200至500m3/h(118-295 cfm)之間，保證渦輪分子泵達(dá)到切入壓強(qiáng)10-1mbar(0.75 x 10-1Torr)。

由于工藝需要抽腐蝕性氣體和大量工藝顆粒，需用全密封類(lèi)型的產(chǎn)品。齒輪箱內(nèi)使用抗腐蝕性能強(qiáng)、使用周期長(zhǎng)、可靠性高的LVO 400潤(rùn)滑油，因此泵的運(yùn)行成本很低。

潔凈間內(nèi)使用時(shí)，羅茨真空泵配水冷電機(jī)，不用電機(jī)風(fēng)扇。
這種形式的電機(jī)可將散入環(huán)境中的熱量減至更低。

已開(kāi)發(fā)出各種各樣的泵型，以適應(yīng)各種應(yīng)用要求。

- 法蘭安裝電機(jī)

泵的驅(qū)動(dòng)軸用聯(lián)軸器直接與電機(jī)相連，驅(qū)動(dòng)軸的密封采用油潤(rùn)滑軸封。

- 罐裝電機(jī)

罐裝電機(jī)中的轉(zhuǎn)子和定子是用非磁性材料制成的氣密式密閉罐加以隔離。固定在泵驅(qū)動(dòng)軸上的轉(zhuǎn)子在真空中運(yùn)行，沒(méi)有動(dòng)密封。

- 全密封式電機(jī)

全密封式電機(jī)的羅茨真空泵是萊寶新研發(fā)出來(lái)的技術(shù)產(chǎn)品。將整個(gè)電機(jī)置于真空中運(yùn)行，與標(biāo)準(zhǔn)法蘭安裝電機(jī)的效率相同，但不需要軸封。全密封式電機(jī)是應(yīng)用于羅茨泵的緊湊、效率高、更可靠的電機(jī)技術(shù)。

-旁通設(shè)計(jì)

旁通管將排放法蘭與進(jìn)氣法蘭相連，中間設(shè)差壓閥。若壓差過(guò)高，閥門(mén)打開(kāi)，一部分泵送氣體通過(guò)旁通管回到進(jìn)氣口。

因此，帶旁通設(shè)計(jì)的羅茨泵可以實(shí)現(xiàn)與前級(jí)泵同時(shí)在大氣壓條件下開(kāi)啟。這樣，在高吸入壓強(qiáng)條件下也能提高泵組抽速。

- 專(zhuān)用ACE減振器

為了適合短節(jié)拍的工藝條件，萊寶真空開(kāi)發(fā)了帶減振器的旁通設(shè)計(jì)（H版）。

RUVAC WA/WAU, WS/WSU

WA/WAU系列羅茨真空泵配有直接法蘭安裝空冷標(biāo)準(zhǔn)三相電機(jī)。RUVAC WA/WAU系列泵采用徑向油封環(huán)，用以將軸與大氣密封隔離，材料為FPM (FKM)(氟橡膠)。

WS/WSU系列泵配空冷密封式罐裝電機(jī)。

WAU/WSU/WHU系列羅茨真空泵配置集成式旁通系統(tǒng)。

RUVAC WH/WHU

WH/WHU系列泵是羅茨真空泵領(lǐng)域內(nèi)技術(shù)先進(jìn)的產(chǎn)品。

電機(jī)和油池均為水冷，能完美地平衡泵體內(nèi)部溫度，能使油溫很低，保證潤(rùn)滑油使用壽命周期長(zhǎng)。在極限壓強(qiáng)運(yùn)行條件下，熱釋放降低近50%，電機(jī)線圈能維持較高負(fù)荷，同時(shí)保證效率提高。

上述新的驅(qū)動(dòng)理念用“灌封式”集成電機(jī)替代了罐裝電機(jī)所用之密封罐，更進(jìn)一步提高了效率，電機(jī)符合IE2所定關(guān)于新效率標(biāo)準(zhǔn)要求而沒(méi)有任何問(wèn)題。為了提高泵抽速，減少抽空時(shí)間，可選裝經(jīng)特別參數(shù)設(shè)定的變頻器。另外，在大氣壓下，該型泵就能在其更大功率條件下工作。

特別針對(duì)短周期運(yùn)行的，新型WHU系列羅茨泵采用了新的旁通閥門(mén)技術(shù)。由于旁通管線的作用，泵能在大氣壓條件下啟動(dòng)。旁通閥提早關(guān)閉，可以大大地縮短抽空節(jié)拍。WHU系列泵不能在高壓條件下長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行。

RUVAC WS和RUVAC WH系列泵配用變頻器

旁通系統(tǒng)模擬泵配備了相應(yīng)變頻器后，可排除機(jī)械過(guò)載的可能性。若壓差過(guò)高，會(huì)自動(dòng)降低泵的旋轉(zhuǎn)速度，直到泵負(fù)荷降到允許范圍內(nèi)。

根據(jù)需求調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速操作期間可以用變頻器調(diào)節(jié)羅茨泵的抽速。在任何應(yīng)用中都可以有更大操作彈性，以能找到正確設(shè)定值。

提高泵抽速根據(jù)泵大小不同，泵的運(yùn)轉(zhuǎn)速度可達(dá)4200rpm至7200rpm。通過(guò)使用變頻器使泵的額定抽速增加了140%。

注：請(qǐng)咨詢(xún)?nèi)R寶可能存在的使用限制條件( 工藝限制)。

工作原理：羅茨真空泵的泵殼內(nèi)有兩個(gè)對(duì)稱(chēng)布置的葉輪以相反方向旋轉(zhuǎn)?！?”字轉(zhuǎn)子用齒輪同步，確保葉輪相互逆向旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)時(shí)葉輪相互間隔很近，離機(jī)殼也很近，但又實(shí)際上相互不接觸。在轉(zhuǎn)子I位和II位(見(jiàn)“羅茨泵運(yùn)行原理圖”)，吸入容量增加。轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)到III位時(shí)，一部分容量與進(jìn)氣口的相通被切斷。

至IV位時(shí)，該容量空間與排氣口相通，處于前級(jí)真空壓強(qiáng)下的氣體(比吸入壓強(qiáng)高)流入。此流入氣體對(duì)進(jìn)氣口抽過(guò)來(lái)的氣體產(chǎn)生壓縮，隨著轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)，壓縮氣體通過(guò)排氣法蘭排出。每個(gè)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)完一滿圈，上述動(dòng)作重復(fù)兩次。由于轉(zhuǎn)子與泵殼不接觸，羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可以達(dá)到很高的速度。相對(duì)較小的泵也能達(dá)到很高的抽速。

產(chǎn)品運(yùn)用：半導(dǎo)體工業(yè)；真空鍍膜；科研；化學(xué)/制藥；冶金/工業(yè)爐；照明行業(yè)；包裝；中央真空系統(tǒng)；冷凍干燥；檢漏系統(tǒng)；電氣工程；高純氣體/ 氦氣減壓降溫循環(huán)系統(tǒng)；機(jī)械工程；汽車(chē)工業(yè)。

羅茨真空泵RUVAC系列