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根據(jù)真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即輸氣泵和氣體捕獲泵。輸氣泵是一種雙極性旋轉(zhuǎn)葉片式真空泵,能夠連續(xù)不斷地吸入和排出氣體,達(dá)到抽氣的目的。氣體捕獲泵是一種真空泵,它能使氣體分子在泵的內(nèi)表面被吸附或冷凝,從而減少容器中氣體分子的數(shù)量,達(dá)到抽氣的目的。
真空泵是一種使用各種方法在封閉空間產(chǎn)生、改善和保持真空的裝置。真空泵可以被定義為使用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)方法來泵送被泵送的容器以獲得真空的裝置或設(shè)備。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展,真空泵有多種類型,泵送速度從每秒零點(diǎn)幾升到每秒幾十萬或幾百萬升。根據(jù)真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即輸氣泵和氣體捕獲泵。隨著真空應(yīng)用技術(shù)對其在生產(chǎn)和科研領(lǐng)域的應(yīng)用壓力范圍的要求越來越寬,為了滿足生產(chǎn)和科研過程的要求,多臺真空泵組成一個抽真空系統(tǒng)來共同抽氣是非常必要的。由于真空應(yīng)用部門涉及的工作壓力范圍很廣,任何類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍,根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求,只能使用不同類型的真空泵。為了便于使用和滿足各種真空工藝的需要,有時根據(jù)性能要求組合各種真空泵并以單元形式應(yīng)用。