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為了維護滑閥真空泵,必須將泵完全拆開,并進行全面檢查以測量滑閥與泵體之間的間隙(正常間隙為0.04?0.12mm);檢查泵中的滑閥和導軌泵的偏心輪。如果表面有裂紋,或者表面有裂紋,請立即進行更換。更換泵中的所有密封件;對于泵的動態(tài)運行,每周可以使用振動測試儀來測試泵的振動。根據(jù)實測數(shù)據(jù),可以初步確定軸承,滑閥等部件的磨損情況。當軸承運動的精度降低時,請更換它們,以免由于軸承磨損而使滑閥與泵腔之間發(fā)生碰撞和摩擦。對維修過的機械泵使用真空計,并進行極限壓力測試,以確定泵的性能和維修效果。對于已使用很長時間的舊泵,泵之間的間隙大于0.1mm且小于0.2mm,并且最終真空要求不是很苛刻。運動粘度為150mm2/s的真空泵油也可以選擇,也可以滿足泵的正常運行。
由于泵室的磨損,滑閥與泵室之間的間隙大于0.2mm的泵需要與泵制造商合作。根據(jù)泵室的磨損情況,專門制作滑閥,偏心輪和導軌,使其與泵兼容。泵腔保持正常間隙;對于具有嚴重磨損和劃痕的泵腔,疏散時間和極限壓力無法滿足工藝需求,維修備件的成本接近新泵價格的一半,維護價值已經(jīng)喪失,并應更換新的滑閥真空泵。