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產品名稱:分子泵
產品類型:半磁浮分子泵;機械軸承分子泵;磁懸浮分子泵;
萊寶真空生產的渦輪分子泵能夠獲得潔凈的高真空和超高真空,具有操作簡單,可靠性高等特點。與性能良好的前級泵組合后,可以實現低于10-10mbar (0.75 x 10-10 Torr)的壓力。
萊寶真空是世界上渦輪分子泵領導品牌之一。TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子泵成功應用于許多場合。在“概述”一節(jié)“應用”表格中,列出了重要的應用領域。
工作原理:渦輪分子泵轉子是一個帶葉片的渦輪,快速旋轉的葉片將動量傳輸給氣體分子,將最初無方向性的熱運動變成有定向運動。渦輪分子泵的抽氣過程就是使氣體分子從進氣口法蘭定向運動到前級真空口。在分子流范圍——也就是在低于10-3 mbar(0.75 x 10-3 Torr)的壓強時,氣體分子的平均自由行程大于轉子與定子葉片之間的間距(典型為十分之零點幾毫米),分子主要與轉子葉片碰撞,所以抽氣過程非常高效。在粘滯流范圍,也就是壓強超過10-1 mbar(0.75 x 10-1 Torr),情況則完全不同,分子間的頻繁碰撞降低了轉子的效率。因此,渦輪分子泵無法在大氣壓下工作,需要適當抽速的前級真空泵。為了使氣體分子產生定向運動,轉子葉片的末端的線速度必須足夠大。所以,轉子也要有相應的高轉速。