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首先會(huì)包含進(jìn)氣濾芯。在這方面,它的向上運(yùn)動(dòng)在很大程度上將有效地防止固體顆粒及其細(xì)灰被吸入真空泵。這樣,在很大程度上,它實(shí)際上直接減少了機(jī)器本身的磨損現(xiàn)象,從而提高了操作本身的可靠性能。在我們延長(zhǎng)泵的使用壽命的同時(shí),它其實(shí)是一個(gè)可以有效保護(hù)系統(tǒng)本身的部件。
打開濾芯開口端的塑料袋,檢查O型圈是否完好、到位,按照從濾芯外側(cè)流入、從濾芯內(nèi)側(cè)流出的方法安裝流入物;用合適的潤(rùn)濕劑(如水)潤(rùn)濕O型圈和過濾器座的插座,用手握住靠近O型圈的過濾器末端,將過濾器座垂直插入過濾器座的插座中。插入貝克真空泵的過濾器后,取下過濾器包裝袋,然后安裝金屬蓋并用工具擰緊過濾器。關(guān)閉過濾器的排放口,打開外殼頂部的排氣閥,稍微打開入口閥,讓材料進(jìn)入外殼,直到液體從外殼頂部的排氣閥溢出,然后關(guān)閉排氣閥。檢查拆卸是否有泄漏,慢慢打開過濾器出口閥,直至完全打開。表示替換完成;移除替換工具和清潔工具。
如果沒有特殊要求,等離子清洗機(jī)中的大多數(shù)真空泵都可以配備旋片泵。這種泵的工作原理是用機(jī)械方法將空氣抽入真空反應(yīng)室。當(dāng)真空度能夠滿足等離子體放電的要求時(shí),保持工藝氣體進(jìn)入,去除等離子體反應(yīng)的副產(chǎn)物,以保證等離子體放電的穩(wěn)定性。真空等離子清洗機(jī)的真空系統(tǒng)由真空泵、真空室、真空計(jì)、擋板閥、進(jìn)氣管、法蘭和其他連接管道組成。