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在使用真空泵時(shí)應(yīng)注意這幾點(diǎn)
1.真空泵用于泵送清潔氣體，不能泵送有毒、易燃、易爆和腐蝕性氣體或蒸汽、化學(xué)品、溶劑和粉末等。如易燃?xì)怏w，含有國家特殊化學(xué)品規(guī)定成分的特殊或高濃度強(qiáng)酸、強(qiáng)堿氣體，或半導(dǎo)體技術(shù)中的高濃度氣體、有機(jī)溶劑、結(jié)晶氣體等。這些氣體容易導(dǎo)致軸承故障。
2.進(jìn)氣溫度必須低于50，否則必須在抽真空腔和泵入口之間增加一個(gè)冷阱，溫度必須降低到50以下。
3.泵送含有水蒸氣的氣體時(shí)，打開壓載閥進(jìn)行泵送，泵送氣體的水蒸氣含量應(yīng)在23g/天以下。如果超過這個(gè)極限，壓載閥的壽命將會縮短。
4.真空泵不能在腐蝕性、易燃、易爆氣體或蒸汽環(huán)境中工作，否則會有爆炸、火災(zāi)等危險(xiǎn)。
5.不要一個(gè)人或兩個(gè)人移動(dòng)泵。搬運(yùn)，的安裝、配置、接線、操作、維護(hù)和檢查應(yīng)由專業(yè)人員進(jìn)行，否則會有觸電、傷害或損壞泵甚至真空室的危險(xiǎn)。
6.不要繼續(xù)使用損壞的泵，否則會有受傷、觸電甚至損壞泵系統(tǒng)的危險(xiǎn)。
7.檢查以確保泵安全接地。
8.在工作過程中或泵剛關(guān)閉時(shí)，不要觸摸泵電機(jī)或金屬部件(因?yàn)楣ぷ鲿r(shí)非常熱，高溫度可能達(dá)到70)。如果確實(shí)需要接觸，采取必要的保護(hù)措施，防止受傷。
9.必須安裝電機(jī)保護(hù)開關(guān)。
10.不要?jiǎng)潅M(jìn)氣口和出氣口的法蘭，以免損壞法蘭，引起真空度上升。
11.在進(jìn)氣口安裝一個(gè)截止閥。真空泵停止后，進(jìn)氣口的真空度降低，因?yàn)槌鰵饪诘拇髿饣氐竭M(jìn)氣口，而不是真空泵。為了保證真空室的真空度，在真空室和泵之間應(yīng)該安裝一個(gè)截止閥。
12.在排氣口連接排氣管，防止灰塵進(jìn)入泵內(nèi)。
