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通常,單個(gè)羅茨真空泵的壓縮比很小。為了使使羅茨真空機(jī)組獲得更高的真空度和抽真空率,幾臺(tái)羅茨真空泵與前級(jí)泵串聯(lián),組成羅茨真空機(jī)組,以滿足高真空的要求。那么,如何選擇羅茨真空機(jī)組呢?
一、羅茨真空泵與前級(jí)泵的泵速比
羅茨抽真空機(jī)組羅茨泵和前置泵的泵速比的選擇非常重要。因?yàn)榱_博泵的壓縮比非常有限。這個(gè)壓縮比決定了前置泵的容量,因?yàn)閴嚎s比與泵送速度成反比。通常,壓縮比從2到10選擇。此外,應(yīng)考慮對(duì)預(yù)抽時(shí)問的要求。真空設(shè)備是各種機(jī)械設(shè)備中的輔助設(shè)備。如果正常工作時(shí)間遠(yuǎn)長于預(yù)抽時(shí)間,可以選擇較小的前置泵(壓縮比可以更大),如果真空窒大且很快需要預(yù)抽,可以使用較大的前置泵。有時(shí),為了充分發(fā)揮設(shè)備的效率,在機(jī)組前安裝一臺(tái)大型預(yù)抽泵,正常運(yùn)行后停止,由一臺(tái)較小的前級(jí)泵維護(hù),以節(jié)省電力。
二、羅茨真空機(jī)組的工作壓力應(yīng)滿足極限真空和真空設(shè)備工作壓力的要求。
選擇前級(jí)泵時(shí),還必須考慮羅茨真空泵機(jī)組的極限壓力要求。極限真空度要求高(高可達(dá)110-3 Pa~110-2Pa壓力)。前級(jí)泵一般選擇兩級(jí)旋片油封機(jī)械泵或兩級(jí)滑片機(jī)械泵。當(dāng)極限真空度在(1 10-2 Pa ~ 1 10-1 Pa)之間時(shí),可以選擇單級(jí)油封機(jī)械泵作為前級(jí)泵,當(dāng)極限真空度在133 Pa ~ 133 ~ 133 Pa之間時(shí),可以選擇往復(fù)真空泵或液環(huán)真空泵作為前級(jí)泵。
羅茨真空泵前級(jí)泵選用往復(fù)式或液環(huán)式粗真空泵時(shí),前級(jí)泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2-1/4,不宜過大,否則壓縮比會(huì)過大,導(dǎo)致羅茨真空泵排氣溫度高,不能正常工作。在選擇前置泵時(shí),還必須考慮泵送的氣體中是否有腐蝕性介質(zhì),是否含有可冷凝氣體,是大量還是少量。如果含有腐蝕性氣體,不能選用油封機(jī)械泵,不適合抽出含有大量可凝蒸汽的氣體,否則密封液會(huì)迅速乳化。當(dāng)抽出含有少量可冷凝蒸汽的氣體時(shí),還必須使用帶氣體鎮(zhèn)流裝置的油封機(jī)械泵作為前級(jí)泵。
為了在低入口壓力(1-100pa)下獲得高泵送速率,一臺(tái)羅茨真空泵可用作由另一臺(tái)羅茨真空泵的前級(jí)泵組成的三級(jí)或四級(jí)機(jī)組,羅茨真空泵的泵送速度比一般在2-5之間。