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隨著真空泵結垢的開始，泵內循環(huán)水的傳熱環(huán)境逐漸被破壞，換熱效率會越來越低，結垢速度會越來越快。規(guī)模的原因一般包括以下幾個方面：
(1)加熱分解。
經過含有硬度為成分的循環(huán)水進入的真空泵，隨著泵的轉動，在泵體內形成一個水環(huán)做功發(fā)熱，使溶解在水中的碳酸氫鹽逐漸分解，難以水析出形成水垢。
(2)溶解度降低。
鹽類如SO4、CaSiO3和CaCO3具有負的溶解溫度系數(shù)，隨著循環(huán)，水溫的升高，溶解度降低并沉淀成垢。
(3)相互反應。
在循環(huán)水中溶解度大的鹽類在真空泵運行過程中與其他鹽類反應生成不溶物并沉淀成垢。
(4)蒸發(fā)和濃縮。
由于循環(huán)水不斷做功發(fā)熱，必然會發(fā)生蒸發(fā)濃縮，使水中溶解鹽的濃度不斷增加，達到飽和時會形成沉淀垢。
