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對于各種真空泵的性能，如水環(huán)真空泵和旋葉真空泵，都有專門的測試方法來測試它們的性能優(yōu)勢。真空泵的主要性能如下：
1.極限壓力
真空泵連接到檢測容器，并且在待檢測氣體被放入之后，進入氣體被長時間連續(xù)泵送。當容器中的氣體壓力不再下降而是保持一定值時，該壓力為泵的極限壓力，其單位用帕表示。
2.流量
在真空泵的吸入口，每單位時間的氣體流量稱為泵流量。在真空技術中，單位流量用壓力*體積/時間來表示，即Pam3/s或PAM 3/h。通常，泵應給出流量與入口壓力的關系曲線。
3.抽氣速率
在真空泵的吸入口，單位時間內流動的氣體量稱為泵的泵送速率。也就是說，氣體a的提取率SA是流量質量保證(Pam3/s)除以測試外殼中該氣體a的分壓pa，即，SA=質量保證/帕(Pam3/s);
4.抽氣的概念
如果在真空容器的所有內表面上沒有氣體吸附和解吸現(xiàn)象，則該抽吸過程是理想的抽吸過程。
