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對于各種真空泵的性能,如水環(huán)真空泵和旋葉真空泵,都有專門的測試方法來測試它們的性能優(yōu)勢。真空泵的主要性能如下:
1.極限壓力
真空泵連接到檢測容器,并且在待檢測氣體被放入之后,進(jìn)入氣體被長時(shí)間連續(xù)泵送。當(dāng)容器中的氣體壓力不再下降而是保持一定值時(shí),該壓力為泵的極限壓力,其單位用帕表示。
2.流量
在真空泵的吸入口,每單位時(shí)間的氣體流量稱為泵的流量。在真空技術(shù)中,單位流量用壓力*體積/時(shí)間表示,即Pam3/s或PAM 3/h。通常,泵應(yīng)給出流量與入口壓力的關(guān)系曲線。
3.抽氣速率
在真空泵的吸入口,單位時(shí)間內(nèi)流動(dòng)的氣體量稱為泵的泵送速率。也就是說,氣體A的提取率SA是流量千帕斯卡(帕3/秒)除以測試蓋中該氣體A的分壓帕,即,SA=千帕斯卡/帕(帕3/秒);
4.抽氣的概念
如果在真空容器的所有內(nèi)表面上沒有氣體吸附和解吸現(xiàn)象,則該抽吸過程是理想的抽吸過程。